Caractéristiques du produit :

Bruit faible

Système de contrôle intégré permettant un fonctionnement sans surveillance et un contrôle à distance

Large plage de fonctionnement sans atténuation de la vitesse (ici, cela fait référence à la vitesse de pompage) dans la plage de 10Pa~10^5Pa

Applications typiques :
Microélectronique, industrie des semi-conducteurs, industrie des batteries au lithium, industrie photovoltaïque, simulation spatiale, systèmes métallurgiques, revêtement,

Processus de plasma, extraction de gaz de procédé, traitement électronique, biotechnologie/pharmaceutiques, industrie chimique, etc