产品特点：

低噪音

集成控制系统，实现无人值守操作和远程控制

宽广的工作范围，在10Pa~10^5Pa范围内无泵速衰减

典型应用：
微电子、半导体、锂电池行业、光伏行业、空间模拟、冶金系统、涂层，

等离子体工艺、工艺气体提取、电子加工、生物技术/制药、化学工业等